澳门js全球唯一官方网站主页（控股）有限公司

质量流量计，, 是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。 
质量流量控制器, , 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
一、怎么理解质量流量计 / 质量流量控制器的流量单位？　　
      气体质量流量单位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升）和SLM（Standard Liter per Minute,每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM﹑SLM不同于mL/min﹑L/min 之处。
对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min）,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度可以方便地查到，因而简单地作一个乘法（以密度乘以SLM）即可实现。
什么情况下用质量流量计, 什么情况下用质量流量控制器 ?　　
     一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，但质量流量控制器更好用。例如，后面讲到的测量小孔直径﹑阀门泄漏量﹑工件（如毛细管）流通量等。
二、质量流量计 / 质量流量控制器的主要优点是什么？
（1）流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。　　对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计 / 质量流量控制器，则一般可以忽略不计。（2）测量控制的自动化　　质量流量计 / 质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。（3）精确地定量控制流量　　质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用，（4）适用范围宽　　有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品最小流量范围可达0～5 SCCM，最大流量范围可达0～250SLM。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,因此在很多领域得到应用。（5）准确度高﹑重复性好　　我们的产品准确度可达±2%F.S.或±1%F.S.，重复性为±0.2%F.S.。（6）体积小巧﹑安装方便﹑操作简单（7）技术先进，符合发展潮流
三、质量流量计 / 质量流量控制器的主要缺点有哪些？
（1）价格较高。
　　对于用惯了转子流量计的用户来说，质量流量计的确显得贵一些。
（2）维护费用较高
　　原则上讲，对于计量产品应当定期标定；产品的故障率尽管不同品牌不尽相同，但出现故障的可能都存在，因而一般是需要一些标定﹑维修费用的。由于各生产厂家收费政策不同﹑用户使用情况不同﹑产品故障率也不一样，因而用户的维护费支出可能有差别。
（3）生产难度较大
质量流量计 / 质量流量控制器是高技术产品，其生产难度是相当大的，这也是多年来我国尝试开发者很多﹑真正成功者极少的原因之一。由于其生产难度大，品质保证难度也大，因而用户在选购时要小心谨慎，避免带来无尽的烦恼。
（4）某些情况下可能造成气路堵塞
　　当质量流量控制器出现某些故障，或气源不洁导致传感器或分流器堵塞，或因操作失误，均有可能造成气路堵塞。对有的用户而言，应当特别给以注意，既要选择合适的型号，又要正确进行系统设计和正确使用。
选择产品和订货时应当注意什么？　

  　（1） 注意选择正确的量程　　将您需要的流量换算成标准状态下的流量（质量流量）。　　根据厂家提供的质量流量转换系数表，将您所用气体的质量流量值换算成与氮气（标定气体）等价的质量流量值。如果您希望按您实际使用的气体标定，请向厂家说明。有关质量流量转换系数的问题，以下还有进一步解答。　　确定所需标准量程。厂家一般有自己的各种规格的标准量程，您实际使用的流量最大值应接低于某个标准量程值。标准量程的选取要避免过大或过小。质量流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的，如果实际流量较小而量程值选取过大，则测量值的相对误差较大。（2）注意选择正确的工作压力指标　　产品可以在真空或高压条件下工作，但不同的产品工作压力指标可能不同，注意选择适合自己的产品。　　质量流量控制器除最大工作压力之外，还有另一项工作压力指标：工作压差，进气端和出气端之间的压差，选型时要注意，使用时也要注意。（3）注意选择合适的精度指标　　准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标，其中重复精度在很多应用场合尤为重要。指标不一定追求最高，应考虑自己的实际需要。（4）注意选择合适的响应时间指标　　有的应用系统对MFC的响应时间有较高的要求，用户应根据自己的情况加以考虑。在考虑响应时间指标的同时，还应注意其响应过程及动态特性。（5）注意对安装位置有无要求 有的厂家的产品要求必须水平位置安装。（6）注意产品的动态响应特性　　某些系统对流量的动态响应特性有较高的要求，在这种情况下，用户应当深入了解具体产品的响应特性。（7）注意零点的稳定性　　对于计量产品而言，零点的稳定性是非常重要的，也是较难保证的。不同的产品零点稳定性可能是不一样的。（8）注意适用范围　　MFM/MFC 对使用的环境及介质温度﹑气源压力﹑介质（特别是使用对腐蚀性气体）情况等均有一定适用范围，请注意阅读说明书或向厂家咨询。（9）订货应注明：产品名称、型号、流量规格、标定气体、使用气体（特别是腐蚀性气体）、接头形式和数量。